DCM-40/60 両面位置確認顕微鏡
被検物の表裏両面の像を光学的に取り込み、表裏合成画像からズレ量を比較観察測定
被検物の表裏両面の像を光学式に重ね合わせ、そのズレ量を比較観察し、メジャーリングシステムを利用して測定できる独創的な顕微鏡です。被検物の表面と裏面に配置した対物レンズは5×から100×までの5種類があって多種多様な試料に対応できます。
| DCM-40 | DCM-60 | |
| 対物レンズ（上下ペアにて選択） | 5×・10×・20×・40×・100× | |
| 接眼レンズ（視野数24） | 10×（1ヶミクロスケール入り）2ヶ | |
| TV観察 | Cマウント付 | |
| 光路切り替え | 接眼-TV観察/表側単独-裏側単独-表裏合成 | |
| 上部対物レンズ移動量 | 24mm | |
| 下部対物レンズ移動量（物体側へ） | 1〜3mm（対物レンズによる） | |
| 測定可能試料厚 | 20mm以内 | |
| 測定ステージ（移動範囲） | 50X50mmまたは100X100mm | 150X150mm |
| 試料ホルダー | 4インチ対応可能 | 6インチ対応可能 |
| ※試料形状に合わせた特注仕様にて対応可能 | ||
| 基準チャート | 光軸合せ用十字スケール（100×用は同心円スケール付） | |
| 表裏光軸調整 | 上側対物粗調整・上側結像光学系での微調整 | |
| 照明 | 上下共 150Wハロゲン光源-ライトガイド照明 開口絞り付 | |
| フィルター | 上面（緑）下面（赤） | |
| 測定精度（表裏ズレ量） | ±2μm | ±1μm |
| オプション | 除振デスク・カメラ・モニター・演算装置・計測ソフト | |
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