EMA-400 卓上型 マスクアライナ
コンパクト・高性能なのに低価格、研究開発に最適な卓上露光装置
本製品は、省スペースで手軽に扱え、しかも高性能・低価格、大学・企業研究室用として最適なマスクアライナです。
本製品の特徴は、このクラスとして初めて双対物顕微鏡、インテグレータレンズ（照明系）を採用し、精度の高いアライメントと、焼き付けが行うことができます。
| マスクサイズ | 最大□5インチ |
| ウエハサイズ | 最大φ4インチ |
| 露光照明 | 250W超高圧水銀灯 |
| 光学方式 インテグレータレンズ方式 | |
| 照度ムラ ±5％以下 | |
| 照度 20ｍW／cm2（405nm） | |
| 有効露光範囲 φ100mm | |
| 露光量：デジタルタイマーによるロータリーソレノイド駆動 | |
| 露光モード | ソフトコンタクト、ハードコンタクト |
| 解像度 | 2μm（ハードコンタクト時） |
| アライメントスコープ | 双対物顕微鏡 |
| 10倍対物レンズ 2個（N.A.0.15 W.D.30mm） | |
| 対物間隔 15～75mm | |
| 接眼レンズ NWF10×(視野数18) | |
| 総合倍率 100倍 | |
| ウエハステージ | XYステージストローク ±5mm |
| θ回転ストローク ±5° | |
| Z軸ストローク 0～4mm | |
| アライメント方式 | ウエハステージ移動によるマニュアルアライメント |
| アライメント精度 | ±3μm |
| 設置サイズ | 735(W)×490（D）×605(H）mm |
| 設置重量 | 約90kg |
| ユーティリティ | 電源 AC100V 15A 50/60Hz |
| 真空（圧力） 21.3kPa（大気圧より-80kPa） | |
| N² ガスまたはドライエアー（圧力）0.2MPa以上 |
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