HISOMET Ⅱ 高精度非接触段差測定機
ターゲットマーク像を合わせるだけで、高さ・深さ・段差などのZ軸測定を簡単に高精度で実現
ハイソメットⅡシリーズは、光学式焦点位置検出方式の非接触段差測定顕微鏡です。プリサイスフォーカスユニットの採用により、投影されたターゲットマーク像の上下の縦線を合わせるだけで、測定点の表面状態を観察しながら、高さ・深さ・段差等の高精度測定が誰でも簡単に可能となります。
変形や打痕・キズなどの心配が無いので、IC等の電子部品や精密加工部品の測定に最適です。
| 鏡体・ ブラケット | 上下可動範囲 | 粗動140mm、微動10mmまたは25mm |
| 観察可能最大高さ | 150mm | |
| 落射照明 | ターゲットマーク（５種類選択）内臓照明、無段階ボリューム調光、 LED照明3W白 | |
| 透過照明 ※オプション | テレセントリック照明、無段階ボリューム調光、 LED照明3W白 | |
| Ｚ軸測定範囲 | 10mmまたは25ｍｍ（Z軸スケール選択による） | |
| Ｚ軸測定精度 | Range≦1μm（0～10mm仕様）、Range≦2μm（0～25mm仕様） ※PLLWDM40×測定時 | |
| 鏡筒 | 正立三眼 | 傾斜角20°正立像、眼福調整範囲54～75mm、Cマウント付 |
| レボルバー | 4ケ穴付き | 対物レンズを4本まで取付可能 |
| 対物レンズ | PL・PLLWD・ SPLシリーズ | 無限遠補正対物レンズ（∞) 3・5・10・20・40・50・100× |
| 接眼レンズ | NWF10X | 倍率10X、視野数16、偏芯実線クロスレチクル入り |
| ステージ | 移動量（Ｘ－Ｙ） | 50×50・100×50・100×100・150×150・200×100・ 200×200・300×150・300×300mm |
| 測定精度 （ステージ送り精度） | XY共：（4+0.02L）μm L：測定長（mm） | |
| オプション | 除振デスク・カメラ・モニター・演算装置・計測ソフト・ AF装置（画像処理式） | |
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